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熱式質(zhì)量流量計利用傳熱原理檢測流量的儀表，即利用流動(dòng)中的流體與熱源之間熱量交換關(guān)系來(lái)測量流量的儀表。 ……
本文關(guān)鍵字：熱式質(zhì)量流量計
熱式質(zhì)量流量計利用傳熱原理檢測流量的儀表，即利用流動(dòng)中的流體與熱源之間熱量交換關(guān)系來(lái)測量流量的儀表。
熱式質(zhì)量流量計基本原理：通過(guò)測量氣體流經(jīng)流量計內加熱元件時(shí)的冷卻效應來(lái)計量氣體流量的。氣體通過(guò)的測量段內有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為加熱器，另一個(gè)作為溫度檢測。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應的函數關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。
熱式質(zhì)量流量計可以使用在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監控取樣氣體量。其使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業(yè)外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等多種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體氬蒸發(fā)等累積量和閥門(mén)制造中泄漏量的測量等。
以上簡(jiǎn)單為大家介紹了熱式質(zhì)量流量計的工作原理以及所使用的環(huán)境。希望小編所介紹的知識點(diǎn)能夠幫助大家了解這個(gè)儀表，若有其他想法可以聯(lián)系我們。
